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半导体零部件外貌处置惩罚装备
专注于半导体零部件洗濯、外貌处置惩罚、晶圆、硅环洗濯等领域。解决半导体细密零部件在加工制成历程中爆发的种种污物、外貌不良等问题。
洗濯手艺笼罩半导体工艺零部件洗濯、结构零部件洗濯、模组产品零部件洗濯、气体管路零部件洗濯、晶圆洗濯、硅环洗濯、电化学抛光等领域，同时着手开发焦点部件（超声波、兆声波）的研发。
化洗线
■ 主要特点
□ 集化学洗濯、清洁洗濯、干燥于一体
□ 去除产品外貌多余的金属元素
□ 通过超声波团结有机试剂去除有机杂质粘污
□ 接纳机械擦洗及团结超声波冲洗去除细小颗粒物
□ 可前后段式：后段置入无尘车间包管出货清洁度
■ 应用领域
□ 硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金属件、塑料件等